四氟乙烯低聚体在半导体制程、储能中作为传热介质的应用

本发明具体涉及一种四氟乙烯低聚体在半导体制程、储能中作为传热介质的应用，所述四氟乙烯低聚体包括四氟乙烯五聚体，四氟乙烯四聚体和四氟乙烯六聚体；以100重量份四氟乙烯低聚体计，四氟乙烯五聚体的重量份＞85份。本发明的四氟乙烯低聚体传热介质具有合适的沸点和流动性，安全耐用、控温稳定、材料兼容性和相容性高，特别适合于在半导体制程、储能中作为传热介质应用。