一种采用超声频离子注渗技术降低奥氏体不锈钢氮表面改性温度的方法

一种采用超声频离子注渗技术降低奥氏体不锈钢氮表面改性温度的方法，它涉及一种降低奥氏体不锈钢氮表面改性温度的方法。本发明要解决现有奥氏体不锈钢低温氮表面改性处理温度一般在400℃到450℃之间，无法进一步降低的问题。方法：一、将奥氏体不锈钢固定于大面积离子注入与沉积设备中金属样品台上，然后抽真空；二、向真空室内通入氮气，并控制真空室内气压；三、开启脉冲偏压电源并激发氮等离子体后，利用高能量离子轰击将奥氏体不锈钢温度升高至200℃~350℃，在温度为200℃~350℃的条件下，实现奥氏体不锈钢表面γ相改性层的制备。本发明用于采用超声频离子注渗技术降低奥氏体不锈钢氮表面改性温度。