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기록
一种金属基热界面材料的制备方法和热界面材料
발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
张浩桐; 司宁博; 代文; 戴丹; 林正得; 江南
IPC 분류
C23C 14/24 (2006.01)H05K 7/20 (2006.01)C23C 14/16 (2006.01)
本发明公开了一种金属基热界面材料的制备方法和热界面材料,包括:(1)将金属薄膜通过水平收缩应力屈曲形成金属褶皱;(2)通过镀覆工艺在金属褶皱表面镀上液态金属,得到所述的金属基热界面材料。该制备方法将金属褶皱作为液态金属的高导热填料,以此构建连续的三维导热通道,这种结构能维持液态金属低压下固有的低接触热阻优势的同时进一步提升材料的导热性能,而且能够利用金属褶皱和液态金属的强结合力以及金属褶皱骨架的物理锚定和液态金属的毛细力作用,从根本上解决液态金属的泄露问题。所述的金属基热界面材料在5psi下热阻为0.05~0.12K·cm/W。