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기록
一种真空蒸镀机用探头无遮挡传动结构
발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
请求不公布姓名; 请求不公布姓名
IPC 분류
C23C 14/24 (2006.01)
本发明涉及真空蒸镀机的传动结构技术领域,具体为一种真空蒸镀机用探头无遮挡传动结构,包括安装在真空蒸镀机外壳体顶部的承载安装盘,且承载安装盘的底面螺钉安装有轴承座,所述轴承座的下方内侧通过轴承连接有上传动中空部,并且控制齿轮的下方通过法兰盘安装有下传动中空部,所述承载安装盘中部开设的通孔内贯穿安装有检测探头。该真空蒸镀机用探头无遮挡传动结构,不会对检测探头造成一瞬间的遮挡,继而不会导致检测探头的信号丢失,因此使得传动结构不会影响检测探头对膜厚监测的精准度,使得传动结构很好的用于真空蒸镀机,便于快速的对镀锅进行安装和拆卸,相比较传统的螺钉安装,该结构操作便捷。