冷泵挡板位置调节装置、真空腔室以及真空调节方法

本申请属于半导体设备技术领域，公开一种冷泵挡板位置调节装置、真空腔室以及真空调节方法，装置包括：安装支架，安装在真空腔室的外壁上；驱动传动机构，安装在所述安装支架上，用于对连接杆施加轴向推拉力；连接杆，置于波纹管内，一端与所述驱动传动机构的输出端连接，用于在所述驱动传动机构的驱动下产生轴向直线运动；波纹管，所述波纹管的一端密封连接在真空腔室内壁上，所述波纹管的另一端与所述连接杆的另一端以及所述挡板密封连接。本申请可以在真空腔室外部操作即可控制挡板位置调节，简化了挡板调节工艺步骤，提高设备调试效率。