一种衬套、拆装方法及工艺腔室

本发明提供了一种衬套、一种工艺腔室、一种衬套的拆装方法。所述衬套包括衬套本体及固定块。衬套本体设于工艺腔室传片口的内侧壁。所述衬套本体的外侧面设有纵向延伸的阶梯槽，所述阶梯槽包括多个台阶，各所述台阶与所述传片口内侧壁的间距自上而下地递减。固定块被置于各所述台阶中的一者与所述传片口的内侧壁之间，并随温度的上升而膨胀，以压紧所述台阶与所述传片口的内侧壁。所述衬套、工艺腔室及衬套的拆装方法，能够防止传片口处衬套的偏移，从而减少其对工艺腔室内气体分布及流场的负面影响，以提升薄膜沉积工艺的稳定性与一致性。