検索に戻る
案件記録

一种纳米铜催化液及其制备方法和在化学沉铜中的应用

発明有効
10請求項 · 3 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

张元正; 张文彬

IPC分類

C23C 18/28 (2006.01)C23C 18/38 (2006.01)B22F 1/0545 (2022.01)B22F 9/24 (2006.01)B82Y 40/00 (2011.01)B01J 23/72 (2006.01)B01J 35/27 (2024.01)

本发明涉及化学沉铜工艺技术领域,尤其涉及一种纳米铜催化液及其制备方法和在化学沉铜中的应用。本申请提供一种纳米铜催化液为水相分散于油相中形成的乳液,所述水相为纳米铜催化核和高分子分散剂,油相为氨基改性硅油,通过惰性气氛保护和低温反应,生成纳米铜催化核;再加入高分子分散剂吸附,通过高速剪切乳化引入油相,形成均匀稳定的纳米铜催化液;有效的将高活性的纳米铜包裹起来,解决其易氧化、易团聚的问题;制备的纳米铜催化液在化学沉铜中的应用,引入脉冲电位控制模块、连通三级梯度过滤再生装置,使纳米铜催化液具有自我修复和循环再生能力,使化学沉铜工艺提升为一个高效、稳定、节能、降耗的现代化连续生产过程。

外部リソース