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기록
一种减薄方法及减薄系统
발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
符运昌; 莫松亭; 刘学明; 许宗义; 汪玉龙; 周保健; 周俊杰; 石凯阳
IPC 분류
C23F 1/30 (2006.01)
本发明公开了一种减薄系统及减薄方法，所述减薄方法用于对因瓦带材进行减薄，所述减薄方法包括：驱动所述因瓦带材以设定速度和设定张力穿过浸泡槽，浸泡槽中设置有减薄液，所述设定张力在20N至80N之间；采用补液组件对所述浸泡槽补充减薄液，并对所述浸泡槽进行排液，所述减薄液包括减薄剂和溶剂，以使得所述浸泡槽中的减薄液的减薄剂与溶剂的比重维持在1.4g/cm至1.6g/cm之间，所述浸泡槽内的减薄液的温度维持在35℃至55℃之间。