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기록
一种铜金属蚀刻液组合物
발명유효
2조회수
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
徐帅; 吴思程; 刘长乐; 丁荣; 李闯; 王丽亚; 张红伟; 黄海东; 胡天齐
IPC 분류
C23F 1/34 (2006.01)
本发明涉及蚀刻液技术领域，具体的，涉及一种铜金属蚀刻液组合物。包括主剂和辅剂，按重量百分比计，所述主剂包括过氧化氢5‑10%、第一氟源0.1‑0.3%、第一无机酸1‑5%、碱1‑5%、第一金属缓蚀剂0.01‑0.8%，去离子水补足余量；所述辅剂包括第二氟源2‑8%、第二无机酸10‑55%、第二金属缓蚀剂0.1‑2%，去离子水补足余量。本发明蚀刻液蚀刻效果优异，CD‑loss达到0.6‑0.8μm、坡度角达到40‑50°、最高铜负载达到20000ppm，同时解决了高铜时，由于硝酸浓度太高导致的金属蚀刻异常的问题。