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案件記録

基于液态金属工具阴极的内流道抛光机构及抛光方法

発明有効
10請求項 · 2 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

张雷; 马亚鹏; 冯宝奇; 栗凯祥

IPC分類

C25F 7/00 (2006.01)C25F 3/16 (2006.01)B24B 31/10 (2006.01)

本发明公开了一种基于液态金属工具阴极的内流道抛光机构及抛光方法,包括第一可编程交直流电源、第二可编程交直流电源、导电软管、液态金属液滴和内流道工件;液态金属液滴位于内流道工件的内流道内,且内流道填充电解液,内流道两端分别通过密封连接的电极连通至第一可编程交直流电源的正负极;导电软管的一端穿过电极连接液态金属液滴,另一端连接第二可编程交直流电源的负极,第二可编程交直流电源的正极连接内流道工件。本发明以液态金属液滴柔性结构作为工具阴极,可实现对复杂流道形貌的主动适应,显著提升加工可达性;柔性阴极与电解液协同作用下,实现对内流道工件内表面的均匀去除,提升整体光整质量。

外部リソース