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기록

N型单晶硅掺锑量确定方法、电子设备、系统和程序产品

발명유효
10청구항 · 4 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

乔航; 陈国良; 王磊

IPC 분류

C30B 15/04 (2006.01)C30B 29/06 (2006.01)C30B 15/20 (2006.01)

本发明公开了一种N型单晶硅掺锑量确定方法,对于同一炉台执行以下操作:获取当前段最后一桶料筒加料完成时间,该时间记为第一时间;响应于炉台发生第一次断线且不添加硅料,获取第一次断线发生时间,该时间记为第二时间;将第二时间与第一时间的时间间隔记为第一时间间隔,响应于第一时间间隔大于第一预设时间差,根据第一时间间隔、坩埚内余料量和目标电阻率确定第一掺锑量。本发明还提供对应的电子设备、系统和程序产品。本发明的方法可以准确确定掺锑量。