一种导模法氧化镓单晶生长的测温及观察结构

本发明公开了一种导模法氧化镓单晶生长的测温及观察结构，属于氧化镓制备技术领域，包括主炉体、提拉组件、反射组件、监测组件、冷却组件和电控组件，反射组件通过活动框架随籽晶同步升降，反射阵列始终位于晶体对侧，实现晶体背面连续反射成像，保证每个反射单元依次成像且图像稳定，通过可升降的反射阵列配合外置的监测组件，实现了对氧化镓单晶生长过程的多角度可视化稳定监控；无需在炉体上开设多个观察窗，避免了因热泄漏导致的温场扰动和界面变形问题，本发明具有装配简便、结构稳定、热隔离性能优良等特点，可提升导模法氧化镓单晶的成晶质量与成品率。