一种稀土石榴石薄膜位错预防与控制方法

本发明涉及一种稀土石榴石薄膜位错预防与控制方法，包含以下步骤：采用改进型米字形定点检测法的要求进行布置测试点；记录每个测试点的不同种类位错的个数进行统计，最终确定基片的位错总数和观测视场位错数量峰值；进行基片筛选与评级。本发明采用的改进型米字形定点检测法更注重位错分布的区域集中性与峰值特征，能够有效识别出局部高密度位错区，通过液相外延技术在优质基片表面生长目标薄膜；生长完成后，宏观观察薄膜的开裂和坑点缺陷，进而获取薄膜的合格率。本发明实现对高风险基片的提前筛除，从源头阻断缺陷在薄膜生长过程中的演化与传递，最终显著提升目标薄膜的合格率与生产流程的稳定性，并且缩短测试时间。