一种高温束源炉真空内坩埚的位置调整机构

本发明属于MBE分子束外延设备技术领域，具体地说是一种高温束源炉真空内坩埚的位置调整机构，壳体的一端通过法兰与源炉腔体密封连接，驱动螺杆转动安装于壳体另一端的内部，驱动螺杆的一端与联轴器相连、另一端与连接杆的一端在壳体内螺纹连接，连接杆的另一端由壳体、法兰穿出后与控制叉的一端相连，控制叉的另一端位于源炉腔体内，并与源炉坩埚抵接；壳体内设有波纹管，波纹管的一端固接在法兰上、另一端与连接杆相连，连接杆上与指针螺钉的一端固接，指针螺钉的另一端由壳体伸出。本发明实现了在真空外调整坩埚位置，保证阀控机构的流畅运行，可避免源炉在客户现场拆调，能有效保证源炉使用过程对控制驱动结构同心的精确要求。