一种碳化硅外延生长设备

本发明提供一种碳化硅外延生长设备，涉及碳化硅外延技术领域。本发明通过设置两个托盘，不同掺杂类型生长时，采用不同的托盘，避免托盘交叉使用，避免掺杂交叉污染。两独立的暂存腔分别存放不同的托盘，避免托盘存放时的交叉污染。两次不同掺杂类型的碳化硅外延层生长切换时，托盘和晶圆在机台内部分离，托盘在机台内部切换，晶圆不出机台、始终在密闭的环境中，避免外界环境污染，确保连续生长。另外，托盘与晶圆的分离、托盘的切换仅在暂存腔内完成，避免改造原反应腔结构，保持外延生长的一致性，降低改进成本。本发明实施例在连续生长不同掺杂类型的碳化硅外延层时，通过托盘切换，托盘与晶圆的非同步传输，减少了掺杂交叉污染。