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案件記録

一种光伏拉制硅单晶液口距自动放置的方法及装置

発明有効
10請求項 · 2 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

何玉玺; 严东; 王艺澄; 王鑫; 黄健

IPC分類

C30B 29/06 (2006.01)C30B 15/20 (2006.01)

本发明涉及单晶硅生产技术领域,具体涉及一种光伏拉制硅单晶液口距自动放置的方法及装置,其方法包括以下步骤:用CCD相机系统拍摄并获取导流筒下沿图像及导流筒下沿倒影图像;通过CCD相机系统自动识别导流筒下沿倒影,根据导流筒位置以及所需的液口距,计算并生成导流筒下沿拟合曲线;在CCD相机系统内实现CCD内可手动设置长度、位置的标线,标线分段为标线1和标线2,设置标线长度为标线A+标线B=引放液口距,设置标线A长度为等径液口距;利用抬升机构调整坩埚高度进行液口距设置,坩埚高度调整至导流筒下沿倒影与拟合曲线重合即可。本技术方案相对于红点捕捉的方法,液位捕捉由点判断变为线判断,准确率、容错率更高,液口距一致性增加。

外部リソース