一种在超高真空环境下使用的多功能加热盘

本发明属于真空应用设备技术领域，具体地说是一种在超高真空环境下使用的多功能加热盘，包括上加热盘组件、下托盘组件、下托盘传动机构及附属功能配件，上加热盘组件固定在真空腔室内的上部，下托盘组件位于真空腔室内的下部、且可以上下运动，下托盘组件通过升降动力源及下托盘传动机构的驱动进行上下运动，可以实现在线对样品的承接。在退火工作时，可通过下托盘组件上的基片托接入射频电源，在通入氩气的情况下，可以对基片进行反溅清洗。本发明结构简单，动作稳定可靠，温度可控可调，在高、超高真空环境都可以使用，应用范围广。