涡旋真空泵及其制造方法

本发明涉及一种涡旋真空泵，其包括：泵系统，该泵系统具有固定涡旋部件和与该固定涡旋部件形成有效泵送配合的可动涡旋部件；驱动轴，该驱动轴在运行中绕旋转轴线转动，且具有用于驱动可动涡旋部件的偏心段；以及用于驱动轴的电动驱动电机。其中，可动涡旋部件包括：涡旋装置，该涡旋装置由涡旋壁、所述涡旋壁限定的涡旋槽及其底部形成的涡旋基底构成，以及与驱动轴偏心段配合的用于该涡旋装置的载体；固定涡旋部件包括：由涡旋壁和涡旋基底构成的涡旋装置，以及用于该涡旋装置的载体。根据第一方面，至少一个涡旋壁在其自由端段具有减小厚度，该厚度小于位于该涡旋壁自由端段上游并向其过渡的区段的厚度。根据第二方面，至少一个涡旋壁具有自由端段，该自由端段在其径向外侧和/或径向内侧相对于该涡旋壁的位于该自由端段上游并向其过渡的区段形成退台。