流阻调整机构、分气装置及方法和半导体器件的加工设备

本发明公开了一种流阻调整机构、分气装置、分气方法和半导体器件的加工设备。该流阻调整机构包括：第一管路，其管路内的横截面为第一图形；第二管路，套接于第一管路的外部，且第二管路内的横截面为第二图形，第一图形和第二图形为具有有限条对称轴的轴对称闭合平面图形，工艺气体从第一图形与第二图形的重叠管径内流通，其中，通旋转第二管路和/或第一管路改变重叠管径的交叉截面积，以调节流经重叠管径的工艺气体的流阻；真空接头，设于第一管路和第二管路的连接端，通过旋紧以固定第一管路和第二管路。本发明能够降低各分气支路中流阻调整的复杂性，且不会破坏管路的洁净环境，还能提高各分气支路中气体流阻调节的精确性。