高速重载平台驱动反力抑制装置及其控制方法

本发明涉及精密直线运动平台技术领域，尤其涉及一种高速重载平台驱动反力抑制装置及其控制方法，包括基台和滑台，基台的一侧设有能对驱动反力进行主动抑制的反力补偿作动器，通过导向机构确保补偿力沿预设的Y轴方向有效传递，避免了侧向分力的产生，提高了音圈电机的输出效率和可靠性，通过解耦机构有效释放了基台与音圈电机之间在非补偿方向上的约束，保证了音圈电机仅在Y轴方向出力，避免了因安装误差或多维振动导致的附加应力，反力补偿作动器结构紧凑、安装方便，减少装置的整体尺寸，成本低且稳定性高，而且结合基于变步长Fx‑LMS算法的前馈控制与基于PID算法的反馈控制，实现对驱动反力的快速响应与精确抑制。