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一种特种气体充装质量温度补偿方法及系统
发明专利有效
10权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
王宇; 王少楠; 戴佳明; 李翱; 徐浪
IPC 分类
F17C 5/06 (2006.01)F17C 13/02 (2006.01)
本申请公开了一种特种气体充装质量温度补偿方法及系统,所述特种气体充装质量温度补偿方法包括:S1:多维度温度及关联参数采集,采样频率1Hz;S2:针对温度对质量的影响因素,建立协同计算模型,包括:气体密度温度补偿模型、气瓶容积温度补偿模型和称重系统温度漂移补偿模型;S3:动态补偿计算与充装控制,包括:基于步骤S2获得各计算模型完成:气体充装前的初始补偿、气体充装过程中的实时补偿,以及在进行多气体充装时的多组分协同补偿。本申请通过动态补偿温度对气体密度、气瓶容积及称重系统影响的质量控制策略,适用于半导体制造、医疗用气、科研实验等高精度特种气体充装场景,可有效消除温度波动导致的充装质量偏差。