一种大尺寸真空腔体热板升降及调节系统

本发明涉及真空干燥设备技术领域，尤其涉及一种大尺寸真空腔体热板升降及调节系统。其包括机架、真空腔体、加热板、冷凝板、加热升降组件、多个加热调平组件和多个顶针组，加热升降组件设置于真空腔体外底部，其驱动端穿过底板伸入腔体内，用于带动加热板整体升降；多个加热调平组件分布于驱动端上，通过第一球头顶升螺栓微调连接板高度，形成水平加热平台；顶针组阵列布置于腔体底板，其顶端构成承载平面以支撑基板；加热板上升时托举基板脱离顶针，精确控制其与上方冷凝板之间的距离。通过多个间隔分布的加热调平组件，可独立微调加热平台各位置高度，精准校正加热板水平度，保证与冷凝板的平行度。