一种用于立式炉设备的恒温区温度自动校准方法

本发明公开了一种用于立式炉设备的恒温区温度自动校准方法，包括步骤：S1.基于立式炉的内偶各温区在炉体中的高度分布位置与恒温区所需长度，设计校温热偶；S2.将校温热偶置于炉体内晶舟旁，使校温热偶的顶部测温点与内偶的顶部测温点高度一致，且与晶舟平行，用于直接监测晶圆温度；S3.启动立式炉的加热并将炉体温度升至工艺温度，直至内偶、外偶与校温热偶的温度均达到稳定状态；S4.启动自动校温功能，计算内偶与校温热偶对应温区的温度Offset值；S5.基于温度Offset值，直接开始拉恒温区，使恒温区温度达到工艺温度的允许偏差内。本发明具有校准效率高等优点。