一种水冷坩埚

本发明涉及一种水冷坩埚，包括坩埚体，所述坩埚体的相对两端均设有一个水套，其中一个水套作为进水套，另一个水套作为回水套，所述坩埚体的侧壁由多个瓣体沿圆周方向合围而成，每个瓣体内设有一条水通道，每条水通道的一端通过进水管与进水套连接，每条水通道的另一端通过回水管与回水套可拆卸的密封连接。本发明中，每个瓣体上仅设置一条独立的水通道，使各瓣体通过各自的水通道完成单独进出水，缩短了冷却水在坩埚体的路程，加快了冷却水的循环速度，提升了冷却效果，同时，各瓣中冷却水从同一进水套进入，流入同一回水套中，使各瓣温度一致性好，回水管与回水套采用可拆卸连接，使各个瓣体均能够分开，方便清理维修以及更换瓣间的绝缘材料。