时栅传感器位移测量方法及时栅传感器

本申请公开了一种时栅传感器位移测量方法及时栅传感器，检测时栅传感器的第一相位信号和第二相位信号之间的相位差；根据相位差和时栅传感器的信号周期，确定位移测量结果；相位差通过第一时钟脉冲和第二时钟脉冲进行检测，第一时钟脉冲用于进行插补运算以确定相位差包含的第一时钟脉冲的第一个数；第二时钟脉冲用于检测第一相位信号的第一翻转边沿以及第二相位信号的第一信号计数值，从而确定相位差。该方法在现有器件条件下，通过双时钟协同处理，充分发挥主频时钟的优势，能够有效提高时栅传感器的分辨率，从而提升时栅位移传感器的动态性能，改善位移测量的准确度。本申请可广泛应用于检测技术领域内。