一种压电驱动器的行程检测装置

本发明属于驱动元件行程检测技术领域，具体涉及一种压电驱动器的行程检测装置，包括：光栅支架，所述光栅支架沿第一方向与压电驱动器的壳体活动连接；所述光栅支架通过柔性铰链与压电驱动器的动子活动连接，所述柔性铰链被配置为能够将所述动子的沿所述第一方向的运动传递至所述光栅支架；光栅条，安装于所述光栅支架，所述光栅条的长度方向与所述第一方向平行；读数头，固定设置在所述压电驱动器的壳体内，所述读数头与所述光栅条相对设置。本发明通过引入柔性铰链，一方面能够保障行程检测系统的高精度与高可靠性；另一方面避免了动子因被完全刚性约束而导致的与导轨之间的卡滞、粘滑现象。