一种用于晶圆凸点高度量测的光学检测系统及方法

本发明涉及一种用于晶圆凸点高度量测的光学检测系统及方法，其系统包括斜入射光源模组、正入射光源模组以及边缘反射光接收模组，所述斜入射光源模组以及所述边缘反射光接收模组位于所述正入射光源模组的两侧；所述斜入射光源模组用于向凸点样品斜射入第一线性光源；所述正入射光源模组用于向所述凸点样品垂直正射入第二线性光源；本发明结合正入射和斜入射照明光路模组，在凸点样品的凸点的顶端为不规则的曲面或其，提高对复杂形态凸点反射及散射信号的捕捉能力，减少凸点高度点云的丢失。