一种测量方法及测量设备

本申请提供的晶圆面型测量设备及方法，第一干涉仪获取测量腔空腔状态下的第一空腔干涉图像并确定第一空腔检测结果，第一干涉仪获取测量腔中固定有第一样品状态下的第一干涉图像并确定第一干涉检测结果，第一干涉仪获取测量腔中固定有第二样品状态下的第三干涉图像并确定第三干涉检测结果，将第三干涉检测结果的空腔环区域和第一干涉检测结果的空腔环区域的形貌差异中的全部区域或者部分区域补偿到所述第一空腔干涉图像中，以得到新的空腔干涉图像，本申请以第一样品的空腔环区域为基准，并在后续样品测量中通过空腔环区域的差异实时感知并补偿使得系统基准面始终与当前测量状态保持一致，得到的样品形貌数据更接近真实值，提高了测量精度。