一种“磁-力-声”耦合的封闭区域内部间隙与微小位移高精度测量方法

本发明公开一种“磁‑力‑声”耦合的封闭区域内部间隙与微小位移高精度测量方法，包括以下步骤：1)将传感器模块安装于自动扫描机械臂末端；2)控制自动扫描机械臂移动，使传感器模块贴近被测材料表面，从而探测磁力检测探头(3)与被测材料间的磁作用力，并计算磁力检测探头(3)与被测材料表面的垂直距离；3)利用超声波检测探头同步测量被测材料表面的贴膜厚度T；4)基于磁力检测探头(3)与被测材料表面的垂直距离、被测材料表面的贴膜厚度T，计算贴膜与被测材料表面的微间隙。本发明不受环境温度、材料热导率差异等因素对检测信号的影响，能够精确检测出间隙的存在和具体大小。