针卡平行度计算方法、装置及探针台设备

本申请涉及一种针卡平行度计算方法、装置及探针台设备。该方法包括：根据针卡上注册探针的针尖点的位置信息拟合得到针卡拟合平面；确定经过每个所述注册探针的第一目标点的水平面垂线与所述针卡拟合平面相交的点，得到每个所述注册探针对应的交点；所述第一目标点是所述针尖点或所述针尖点在所述针卡拟合平面和水平面的共垂面上的第一投影点；根据各所述注册探针对应的所述交点在目标空间坐标系的竖轴方向上的坐标值，确定至少部分所述注册探针对应的平行度，得到平行度集合；其中，所述目标空间坐标系是基于晶圆承载台建立的三维空间坐标系；从所述平行度集合中选取最大值，得到所述针卡的平行度。该方法能够提高针卡利用率。