基于光致变形材料调控的无源电容传感器及其制备方法

本发明提供一种基于光致变形材料调控的无源电容传感器及其制备方法，包括上极板、下极板以及位于两极板间的介电层，还包括至少一条设置在所述上极板与下极板之间的光致变形条带，所述光致变形条带的两端分别固定于上极板和下极板，其材质为光致弯曲形变材料；所述上极板和下极板的表面设有镂空电极；当外部光照作用于所述光致变形条带时，条带产生弯曲形变并驱动所述上极板和下极板的间距变化，实现电容值的无源连续调节。本发明通过光照强度变化驱动条带形变以非接触式调节极板间距，实现电容值的连续动态调控。