一种单晶圆棒自动检测系统及其检测方法

本发明提供了一种单晶圆棒自动检测系统及其检测方法，涉及检测技术领域。该系统，包括：输送组件、安装架、外观检测组件、机器人、电性能检测组件和控制器。安装架在输送组件的顶部。外观检测组件安装在安装架上，且该外观检测组件的检测端朝向输送组件设置。当外观检测组件安装后，该外观检测组件可沿安装架的X轴和Z轴方向移动。机器人安装在输送组件的一侧。电性能检测组件通过安装板安装在机器人上。控制器与输送组件、安装架、外观检测组件、机器人和电性能检测组件电性连接。本发明通过检测系统可提高其检测效率、检测数据的准确性、降低漏检情况并可追溯，杜绝人员操作过程中的安全隐患。本发明还公开了一种单晶圆棒自动检测方法。