基于激光热调谐的光纤悬臂梁-微球一体式低频振动传感装置

本发明公开了基于激光热调谐的光纤悬臂梁‑微球一体式低频振动传感装置，光纤悬臂梁端面设有二氧化硅微球，空芯光纤第一端面与所述光纤悬臂梁始端固定连接，第二端面与所述单模光纤端面固定连接。单模光纤的端面、二氧化硅微球左侧壁以及二氧化硅微球的右侧壁分别作为三个反射面，形成了三光束法布里珀罗干涉腔。单模光纤端面与二氧化硅微球的左侧壁形成的干涉腔作为传感腔。当传感器受到振动信号激励时，光纤悬臂梁因受力而发生弯曲形变，引起传感腔腔长改变，通过监测干涉谱的波长漂移可实现高灵敏、高精度的低频振动监测。另外，通过980nm单频激光系统自反馈加热传感结构，可调控干涉光谱波长漂移，能有效避免环境温度串扰。