帽状纤毛MEMS矢量水听器

本发明涉及微机电系统传感器技术领域，公开了帽状纤毛MEMS矢量水听器，包括：帽状纤毛，用于感知声音产生振动进行传递；中心质量块，设置在帽状纤毛的底部，帽状纤毛位于其顶部中心处，所述中心质量块用于接收帽状纤毛传递的振动并进行扩散；四个悬臂梁，分别固定连接在中心质量块的前、后、左和右四个面，用于接收中心质量块传递的振动并产生形变；方形框，设置在四个悬臂梁的外部。通过帽状纤毛比传统纤毛拥有更大的声波接收面积，在受到同样大小的声压信号时，帽状结构可以在悬臂梁上产生更大的梁上应力，从而使压敏电阻产生更大的阻值变化，而且水听器制作工艺简单成熟，帽状纤毛不需要二次集成，确保水听器的一致性。