一种基于单波导的超高分辨率集成计算光谱仪及实现方法

本发明公开了一种基于单波导的超高分辨率集成计算光谱仪及实现方法，属于光谱测量领域。本发明的光谱仪包括包层、输入端面耦合器、多级反射测量波导、相位调制器、输出端面耦合器、光电探测器和微控制器，多级反射测量波导包括多级沿传播方向通过波导依次相连接的微结构反射单元；本发明解决了分别率低、带宽和可扩展性不足的问题，具有高分辨率与大带宽性能，在近红外波段实现了0.9 pm级双峰可分辨与800 nm的有效带宽；单根直波导的简单结构，无需长链级联器件，即可获得高独立通道密度；通过限制微结构反射单元的反射率与段数，能够将波导损耗维持在5 dB以内，对于低强度的待测光也能有很好的探测效果；本发明应用于各种复杂光谱的高精度测量。