一种高灵敏的阵列式水下三维力传感器

本发明公开了一种高灵敏的阵列式水下三维力传感器。阵列式水下三维力传感器包括若干呈阵列排布的三维力传感单元，每个三维力传感单元均包括沿厚度方向层叠布置的柔性传感层、支撑层和柔性电极；柔性传感层主要由传导层和敏感层通过连接层连接而成；传导层为半球形，弹性模量大于连接层和敏感层，敏感层包括四个矩阵排布的四棱锥传感元件；支撑层设置有流道，用于使外部的离子载体进入三维力传感单元内；柔性电极靠近柔性传感层的一侧设置有正面电极，正面电极与离子载体电连接；支撑层的中央开设有通孔，使得四棱锥传感元件的尖端能够与正面电极接触。本发明利用梯度模量柔性传感单元与低预压的设计，使传感器具备水下高灵敏的三维力检测功能。