一种高鲁棒性的电容浮动单元摩阻应力芯片

一种高鲁棒性的电容浮动单元摩阻应力芯片，属于摩阻芯片领域，该芯片利用电容梳齿检测流体壁面剪应力作用于浮动单元带来的位移检测壁面摩阻应力大小，芯片自上而下包括电极、电容敏感层、屏蔽层、剪应力敏感层。本发明所述芯片通过调控剪应力敏感层惯性质量提高芯片抗振性，通过埋藏式设计避免复杂流场污染颗粒与液滴对电容敏感结构的影响，结合倒装式无引线封装可组成高鲁棒性摩阻应力芯片。该摩阻应力芯片鲁棒性强、长期稳定性强、灵敏度高、性能优异，能实现复杂流场环境下摩阻应力的长期检测。