一种微型电离真空传感器和真空计

本申请涉及电离真空传感器技术领域，公开了一种微型电离真空传感器和真空计，传感器包括至少一个传感器单元，每个传感器单元包括：掺杂型半导体基底，掺杂型半导体基底的一侧表面设有至少一个凹槽；位于掺杂型半导体基底一侧表面，且在凹槽以外区域的绝缘介质层；位于绝缘介质层背离半导体基底一侧表面的电极层；掺杂型半导体基底和绝缘介质层的界面分布有二维电子气，二维电子气作为场致发射电子源；由凹槽的底部至目标表面之间形成有纳米空气沟道，目标表面为电极层背离绝缘介质层一侧表面所在的表面。通过引入纳米空气沟道，缩小极间距离，使得工作电压降低。另外，二维电子气中电子与电子之间的库仑斥力作用会进一步降低工作电压。