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기록

一种光学仪器镜面垂直度检测方法及检测装置

발명유효
5조회수
8청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

刘嘉霖; 张凯; 景禹豪; 刘彬

IPC 분류

G01M 11/02 (2006.01)G01B 11/27 (2006.01)

本发明公开了一种光学仪器镜面垂直度检测方法及检测装置,属于光学仪器检测技术领域,所述方法包括:S1、将第一检测单元、第二检测单元呈对射方向同轴布置在光学平台上,通过第一检测单元、第二检测单元相互对射,校准各自的零点;S2、将待检测的光学仪器布置在光学平台上且位于第一检测单元、第二检测单元之间,先后通过第一检测单元、第二检测单元向光学仪器的镜面发射平行光,采用自准直法分别记录镜面的第一俯仰角和第二俯仰角;S3、根据第一俯仰角和第二俯仰角计算镜面相对于基准面的垂直度偏差。利用本发明能够消除光学平台的精度和90°基准镜的精度带来的误差,降低由于测量带来的随机误差,以提高检测结果的精度,减小检测结果的误差。