一种二维激光扫描振镜精度测试装置及测试方法

本发明涉及光学精密测量技术领域，本发明公开了一种二维激光扫描振镜精度测试装置及测试方法。本发明公开的二维激光扫描振镜精度测试装置，包括：激光发射模块、扫描模块接口单元、光路引导模块、聚焦成像模块和图像处理模块，激光发射模块、扫描模块接口单元、光路引导模块和聚焦成像模块的光路被依次设置，使得所述激光光束依次经过所述待测的二维激光扫描振镜偏转、所述光路引导模块引导以及所述聚焦成像模块聚焦后，在所述探测靶面上形成所述测试光斑。本发明的二维激光扫描振镜精度测试装置提升成像清晰度与图像处理精度，实现了对二维激光扫描振镜扫描精度的高效且精准测试。