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一种基于极图的共轴孪晶界原子级HAADF-STEM样品的制备方法
발명유효
5조회수
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§ Ⅰ
개요
발명자
张宇; 贾立成; 胡盛情; 郝龙龙; 张爱平; 陈厚文
IPC 분류
G01N 1/28 (2006.01)G01N 1/32 (2006.01)G01N 1/34 (2006.01)G01N 23/02 (2006.01)G01N 23/00 (2006.01)
一种基于极图的共轴孪晶界原子级HAADF‑STEM样品的制备方法，涉及TEM样品制备方法技术领域，包括以下步骤：S1.对镁合金材料进行预处理，制备用于EBSD的样品；S2.使用EBSD对S1制备的样品中的单个晶粒进行标定，对标定后的共轴孪晶界面进行极图分析，并与标准{110}极图进行对比判定后，得到{102}共轴孪晶界，记录其位置并进行标记；S3.采用FIB技术对S2中标记区域进行切取，从而得到原子级HAADF‑STEM样品；能够有效避免现有EBSD表征中存在的问题，显著提高了界面定位效率，缩短了预处理时间，提高了共轴孪晶界鉴定的可靠性和重复性。