CNIPA.AI
검색으로 돌아가기
기록

具有超快成像功能的激光剥蚀进样系统和方法

발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

吕涛; 王润辉; 张宇博; 朱惠会; 李明辉; 陈福立; 张洲豪; 苏晓慧; 王嘉伟; 金雪梅

IPC 분류

G01N 1/44 (2006.01)G01N 21/73 (2006.01)G01N 27/626 (2021.01)H01J 49/04 (2006.01)

本发明涉及激光剥蚀技术领域,具体涉及一种具有超快成像功能的激光剥蚀进样系统和方法,系统包括剥蚀池、激光脉冲串发射单元和微光成像单元,剥蚀池用于容纳样品,激光脉冲串发射单元发射激光束,激光束聚焦至样品表面对样品进行剥蚀,微光成像单元置于剥蚀池的预设方位,用于记录样品剥蚀过程中剥蚀羽的演化图像,并输出图像数据,通过微光成像单元可以提高系统对气溶胶演化的监测能力,实时掌握气溶胶的生成与演化规律,以利于优化剥蚀参数和环境参数,从而提升元素分析的准确性和稳定性,能够解决现有技术中对样品剥蚀监测手段缺乏、分析稳定性和精度差等问题,为高效、精准的固体样品分析技术提供新的解决方案。