晶圆检测系统及检测方法

本发明涉及晶圆检测系统及检测方法。晶圆检测系统可以包括：光源系统，其包括第二光源和第一光源；显微成像系统，其用于对经由晶圆反射或透射的光进行成像；图像获取单元，其包括第一成像元件和第二成像元件，用于对经由显微成像系统所成的像进行处理；起偏器，其用于将从第一光源发射的光变为线偏振光；检偏器，其使得与线偏振光的偏振方向正交的光入射到第一成像元件。第一成像元件接收从第二光源发射并经由晶圆反射的光所成的像，以及接收从第一光源发射并经由晶圆透射的光所成的像。第二成像元件接收从第二光源发射并经由晶圆反射的光所成的像，以及从第一光源发射并经由晶圆透射的光所成的像。