一种衍射光波导的检测系统及方法

本发明提供一种衍射光波导的检测系统及方法，包括相机、处理设备和背景板；所述相机，与所述背景板相对设置，所述相机与所述背景板之间形成检测区域,用于在待测衍射光波导放置于所述检测区域时采集包含所述待测衍射光波导和所述背景板的待分析图像；所述处理设备，与所述相机通信连接，用于控制所述相机的焦平面位于所述待测衍射光波导与所述背景板之间，还用于根据所述待分析图像判断所述待测衍射光波导的检测结果。本发明实施例提供一种衍射光波导的检测系统及方法，能够检测衍射光波导中增透膜结构是否异常。