激光检测系统

本发明提供一种激光检测系统，激光检测系统包括：激光发射端、聚光物镜、半透半反镜、样品台、探测端、成像模块和调控模块；激光发射端包括：激光器、分束器、多个移相器和QBH阵列；半透半反镜将平顶光束分成一束检测子光束和一束监测子光束，并将检测子光束投射至样品台上装载的待测样品的表面，以使待测样品将检测子光束反射至探测端，将监测子光束投射至成像模块；调控模块与成像模块、移相器和QBH阵列电连接，调控模块用于根据成像模块的成像结果，调控移相器和/或QBH阵列，以改变子激光束的状态，并优化聚光物镜输出平顶光束。本发明能够高效、精准的完成晶圆级的缺陷检测。