一种板状物件表面缺陷微焦点X光视觉检测设备

本发明公开了一种板状物件表面缺陷微焦点X光视觉检测设备，其载物台呈水平承载被测的板状物件；射线源为信号发射器，探测器为信号采集器；载物台用于实现Z向和X向平移，并能实现水平面中的旋转，分处在载物台上方和下方的射线源和探测器能够随矩型框实现摆动，并能在Y向杆上作Y向移动。本发明通过多轴联动实现立体无死角检测，有效提高了采集成像的清晰度和检测精度，防止出现漏检和误检的现象，尤其适于芯片封装缺陷微焦点X光视觉的2D和3D检测。