一种晶圆中位错的检测方法、装置、电子设备和程序产品

本申请涉及晶体缺陷检测领域，公开了一种晶圆中位错的检测方法、装置、电子设备和程序产品，方法包括：获取在目标g矢量下，X射线与待测晶圆的位错相互作用产生的衍射图像；确定所述衍射图像中与所述位错相对应的所有衬度线条的总长度；确定X射线在所述待测晶圆中与所述目标g矢量相对应的探测体积；通过所述总长度和所述探测体积确定所述待测晶圆中位错的密度。本申请的检测方法为非损耗性检测，可以降低检测成本；X射线衍射成像对位错的探测具有极高的灵敏度，可以提高检测灵敏性，同时可以提高检测速度；还可以精确得到位错的总长度，进而提升位错密度的检测准确性。