粉末样品表面XPS分析装置

本发明公开了一种粉末样品表面XPS分析装置，涉及粉末样品表面XPS分析技术领域，通过设置样品分析机构、多个粉末样品制备机构以及多个通道开合部件，使得本发明在使用时能够通过设置的多个粉末样品制备机构和对应数量的通道开合部件的配合提供多个样品仓位，进而也就使得作业人员在对粉末样品进行XPS表面分析时，同时实现多个样品的分析，提升了分析效率，同时，由于不同的粉末样品制备机构具有多个，也就使得本发明在将粉末样品制备成待测试样块时，能够在不同的惰性气体氛围状态下制备得到不同的待测试样块，进而也就使得本发明避免了粉末样品对舱室的污染。