一种应用于半导体气体传感器的双功能覆盖层及制备方法

本发明属于气体传感器技术领域，具体涉及一种应用于半导体气体传感器的双功能覆盖层及其制备方法。该双功能覆盖层的成分为CuO/AlO复合纳米颗粒，所述CuO/AlO复合纳米颗粒为纳米多孔的AlO骨架以及修饰在骨架上的CuO纳米颗粒，所述AlO骨架与CuO纳米颗粒的摩尔比为(9.5:0.5)‑(7:3)。本发明把多孔AlO作为电绝缘骨架和防潮材料，把富含氧空位缺陷的CuO纳米颗粒作为硫化氢气体的消耗材料，构建了一种兼具防潮与硫化氢气体过滤功能的双功能覆盖层，大大提高了半导体气体传感器的抗湿性、选择性与长期稳定性。克服现有技术中疏水分子筛存在的高温热稳定性较差、当目标气体的分子动力学直径大于硫化氢时无法过滤硫化氢的问题。