一种异质结薄膜和一种室温二氧化氮传感器

本发明提供了一种异质结薄膜和一种室温二氧化氮传感器，属于气体传感器领域。本发明提供的异质结薄膜，包括过渡金属掺杂的二氧化钛层和二硫化锡层；所述过渡金属包括铌、钒或钽；所述二硫化锡层为片状结构。本发明通过利用过渡金属对二氧化钛层进行掺杂，并将过渡金属限定为铌、钒或钽，可以提升TiO的导电能力，加速SnS/TiO异质结界面处电荷转移；通过将二硫化锡层限定为片状结构，可以使SnS层获得更多的自由电子有助于NO气体吸附与反应，获得更高响应灵敏度。本发明提供的异质结薄膜构成的室温二氧化氮传感器对5ppm浓度的NO的响应灵敏度值可达到11.7，具有高的灵敏度，可以实现对微量NO的检测。